Lithography Process Control - Tutorial Texts - Harry J. Levinson - Bøger - SPIE Press - 9780819430526 - 1. februar 1999
Ved uoverensstemmelse mellem cover og titel gælder titel

Lithography Process Control - Tutorial Texts


Få en e-mail når varen bliver tilgængelig
Har du en konto? Log ind
Modtag notifikation om nye Harry J. Levinson udgivelser
Tilføj til din iMusic ønskeseddel
eller

Ikke bedømt endnu

This text is intended to be a self-contained tutorial on lithography process control. It works as an introduction to those entering the field, and as a reference for the experienced lithography engineer. Topics covered include linewidth control, overlay, and yield.


194 pages, Illustrations, 1 port.

Medie Bøger     Paperback Bog   (Bog med blødt omslag og limet ryg)
Udgivet 1. februar 1999
ISBN13 9780819430526
Forlag SPIE Press
Antal sider 194
Mål 150 × 220 × 10 mm   ·   444 g

Mere med samme udgiver