Mikro- I Nanoelektromechanika

W nowoczesnej mikroelektronice najbardziej intensywnie rozwijaj?cym si? sektorem s? systemy mikroelektromechaniczne, MEMS. Kierunek ten oparty jest na najnowszych osi?gni?ciach technologii mikroelektronicznych i ma na celu stworzenie mikromechanizmów wykonawczych, które maj? wcze?niej nieosi?galne mo?liwo?ci funkcjonalne. W ostatnich latach MEMS wywarl znacz?cy wplyw na codzienne ?ycie dziesi?tków milionów ludzi, poprzez stworzenie nowych rynków dla mobilnej elektroniki, o nieznanych wcze?niej wla?ciwo?ciach konsumpcyjnych i bran?ach - motoryzacyjnej, elektronicznej, lotniczej i kosmicznej, medycznej, itp. Jednak do tej pory wi?kszo?c specjalistów, twórców sprz?tu elektronicznego i u?ytkowników zaawansowanych technologicznie urz?dze? nie ma wystarczaj?cych informacji na temat nowego kierunku rozwoju mikroelektroniki. W ksi??ce omówiono obecny stan tego kierunku mikroelektroniki, szeroki zakres jej praktycznych mo?liwo?ci i perspektywy dalszego rozwoju. Uwzgl?dniono fizyczne zasady funkcjonowania MEMS i ich charakterystyk?. Ksi??ka przeznaczona jest dla specjalistów z zakresu mikroelektroniki, informatyki oraz studentów uczelni technicznych.